Erdieroaleen merkatua hazten den heinean, garbitasunerako eta zehaztasunerako estandarrak zorrotzagoak dira. Erretinezko fabrikazioaren kalitatearen faktore determinatzaileetako bat prozesuan erabilitako gasak dira. Gas horiek funtzio ugari egiten dituzte fabrikazio prozesuan, besteak beste:
Zehaztasun prozesuaren kontrola
Kutsadura Prebentzioa
Jabetza metalurgikoaren hobekuntza
Rol horiek modu eraginkorrean egiteko, gas hornidura eta banaketa sistema eraginkorra izan behar da. Erdieroaleen fabrikazioan erabilitako gasaren manipulazio sistemen diseinuak osagai sendoak eta pertsonalizatutako muntaiak babestu behar ditu erdieroaleen ekoizpen fidagarria eta kalitate handiko produkzioa ziurtatzeko.
Erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen diren gasak
Erdieroaleen fabrikazio prozesuak prozesuaren fase desberdinetan gas desberdinak erabiltzea eskatzen du.
Nitrogenoa, hidrogenoa, argon eta helioa bezalako gas arruntak erabil daitezkeen arren, zenbait prozesu nahasketa espezializatuak behar dira. Silanes edo siloxanak, hexafluoridoak, halogrukzioak eta hidrokarburoak dira erdieroaleen fabrikazioan erabiltzen diren espezialitateetako gas batzuk. Gas horietako asko arriskutsuak edo oso erreaktiboak izan daitezke, gas sistemetarako osagaiak hautatzeko eta diseinatzeko erronkak sortuz.
Hona hemen adibide batzuk:
\ Hydrogen eta helioa erraz piping eta egokitze sistemetatik erraz isuri daiteke, tamaina eta pisu atomiko txikia dela eta.
\ Silanes oso sukoiak dira eta airean autoak (autoignita) erretzen dira.
\ Nitrogeno difluoruroa deposituan, grabaketa eta ganbera garbitzeko faseetan berotegi-efektuko gas indartsua bihurtzen da ingurumenean filtratzen denean.
\ Hidrogeno fluoruroa (gasa grabatzea) oso korrosiboa da metalezko hoditeraino.
\ Trimethylgallium eta amoniakoa zaila izan daiteke - tenperatura eta presio eskakizunetan gorabehera txikiek deposizio prozesuan eragina izan dezakete.
Gas horien eragin negatiboek minimizatzeko prozesuen baldintzak kontrolatzea sistemaren diseinuan lehentasun nagusia izan behar da. Garrantzitsua da kalitate handieneko osagaiak erabiltzea, hala nola AFK Diafragm Balbulak eraikitzeko prozesuan.
Sistemaren diseinuaren erronkak
Erdieroaleen kalifikazioko gasak garbitasun handiko kasu gehienetan daude eta baldintza edo erreakzio maltzurrak eskaintzen dituzte fabrikazio prozesuaren fase desberdinetan, hala nola, etch eta deposizio gaiak. Horrelako gasak ihesak edo kutsadurak efektu negatiboak izan ditzake. Hori dela eta, funtsezkoa da sistema hermetikoki zigilatuta eta korrosioarekiko erresistentziak izan ohi diren sistemaren osagaiak, gainazal leuna (leuntze elektrolitikoa) edukitzea, kutsatzeko aukerarik ez dagoela ziurtatzeko eta garbitasun maila oso altua mantendu daitekeela ziurtatzeko.
Gainera, gas horietako batzuk berotu edo hoztu daitezke nahi diren prozesuen baldintzak lortzeko. Ondo isolatutako osagaiek tenperatura kontrolatzea bermatzen dute, eta hori funtsezkoa da azken produktuaren errendimendu eraginkorra lortzeko.
Iturriaren erabilerara, AFKren osagai zabalak garbitasun ultra-altua, tenperatura, presioa eta fluxu kontrolak onartzen ditu garbitasun geletan eta hutsean ganberetan.
Erdialdeko Osagaiak dituzten kalitate handiko sistemak diseinatutako sistemak
Kalitateko osagaien eta diseinuaren optimizazioaren eginkizuna funtsezkoa da erdieroaleen kontrol zehatza eta fabrikazio segurua. Erabilitako osagaiak sendoak eta ihesik gabekoak izan behar dira, fabrikazioaren fase desberdinetan behar diren prozesu-baldintzekin bat egiteko.
Garbitasun ultra-altua
Ihes gabeko zigiluak
Tenperatura kontrolatutako isolamendua
Presioaren kontrola
Korrosioarekiko erresistentzia
Leuntzeko tratamendu elektrolitikoa
Posta: 2012-09-09