Gas handiko gasaren hoditeria garbitasun handiko gas hornidura sistemaren zati garrantzitsua da, hau da, behar den garbitasun handiko gasa erabiltzeko beharrezkoak diren teknologia eta kalitate kualifikatua mantentzeko; Gas handiko gas hoditeria teknologiak sistemaren diseinu egokia, osagarriak, eraikuntza eta instalazioa eta probak hautatzea eta probatzea biltzen ditu. Azken urteetan, eskala handiko zirkuitu integratuek irudikatutako produktu mikroelektronikoen ekoizpenean garbitasun handiko gasetako garbitasun eta garbitasunaren edukien garbitasunaren eta garbitasunaren edukiaren gaineko baldintza gero eta zorrotzak izan dira, gero eta gehiago kezkatuta eta azpimarratuz. Jarraian, materialen hautaketatik purutasun handiko gasaren hodien ikuspegi laburra daof eraikuntza, baita onarpena eta eguneroko kudeaketa ere.
Gas komun motak
Elektronika Industrian gas komunen sailkapena:
Gas arruntak(Bulk gasaDiagnesuka: hidrogenoa (h2), nitrogenoa (n2), oxigenoa (o2), argon (a2), etab.
Gas espezialitateaksih dira4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hl,CF4 ,NH3,Zauklas3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bc3 ,Euskara4 ,C +3 ,Ceratu,C2F6, N2o,F2,H 4,Hbr sf6...... etab.
Gas berezien motak korrosibo gisa sailka daitezkegas, toxikogas, sukoiakgas, erregaitzagas, inertegaseta abar, normalean erabiltzen diren erdieroale gasak honela sailkatzen dira orokorrean.
(i) korrosiboa / toxikoagas: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, Nh3, PH3, Cl2, Bcl3... etab.
(ii) Sugagarritasunagas: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, Co ... etab.
(iii) erregaiakgas: O2, Cl2, N2O, nf3... etab.
(iv) inertegas: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Ss6, Co2, Ne, kr, he ... etc.
Gas erdieroale askok giza gorputzarentzat kaltegarriak dira. Bereziki, gas horietako batzuk, esaterako, sih4 Errekuntza espontaneoa, ihesak airean oxigenoarekin bortizki erreakzionatuko duen bitartean eta erretzen hasten da; eta errauts3Oso toxikoak, isurketa txikiak gizakiaren bizitza arriskua sor dezake, argi eta garbi, beraz, sistemaren diseinuaren segurtasunerako baldintzak bereziki altuak dira.
Gasen eskabidearen esparrua
Industria modernoaren oinarrizko lehengai garrantzitsu gisa, gas-produktuak oso erabiliak dira, eta gas arruntak edo gas bereziak erabiltzen dira metalurgian, altzairua, petrolioa, industria kimikoa, makineria, elektronika, beira, zeramika, eraikuntzako materialak, sendagaiak eta sektore medikoak. Gasak aplikazioak eragin handia du eremu horien teknologia altuan bereziki, eta bere gutxieneko lehengaien gasa edo prozesuaren gas ezinbestekoa da. Industria sektore eta zientzia eta teknologia moderno berrien beharren eta sustapenarekin soilik, gasaren industriako produktuak garatu daitezke, eta mugak, askotariko kalitateari, kalitateari eta kantitateari dagokionez.
Gas aplikazioa mikroelektronika eta erdieroale industrian
Gasaren erabilerak eginkizun garrantzitsua izan du beti erdieroale prozesuan, batez ere prozesu erdieroalearen prozesua oso erabilia izan da hainbat industrietan, gaur egungo mikro-elektro-mekanikoen (MEMS) industrian. Gasaren garbitasunak eragin erabakigarria du osagaien eta produktuen errendimenduaren errendimenduan, eta gas horniduraren segurtasuna langileen osasunarekin eta landareen operazioen segurtasunarekin lotuta dago.
Gas handiko gasaren garraioan garbitasun handiko hodien garrantzia
Altzairu herdoilgaitzezko urtzea eta materialak egiteko prozesuan, 200g gas inguru tona bakoitzeko xurgatu daiteke. Altzairu herdoilgaitza prozesatu ondoren, bere gainazalak ez ezik, kutsatzaileekin izandako gainazala ez ezik, bere metalezko sarean ere gas kopuru bat xurgatu zuen. Pipelinaren bidez aire-fluxua dagoenean, metalak gasaren zati hau xurgatu du aireko fluxuan sartuko da, gas hutsa kutsatuz. Hodiaren fluxua etenik gabeko fluxua da, hodiak presiopean dauden gasa adsortzen duenean, eta hodi batek adsortzen duen gasak presio jaitsiera eratzeko, eta gas eboluzioa hodian gas garbia ezpurutasun gisa sartzen da. Aldi berean, adsortzioa eta ebazpena errepikatzen dira, hodiaren barruko gainazalean ere hauts kopuru jakin bat ere ekoizteko, eta metalezko hauts partikula honek hodi barruan gas hutsa kutsatzen du. Hodiaren ezaugarri hau ezinbestekoa da garraiatutako gasaren garbitasuna bermatzeko, eta horrek hodi barruko gainazalaren leuntasun oso altua ez ezik, higadura handiko erresistentzia handia eskatzen du.
Errendimendu korrosibo sendoa duen gasa erabiltzen denean, korrosioarekiko altzairu herdoilgaitzezko hodiak hoditeria erabili behar dira. Bestela, hodiak korrosioaren gainazalean korrosiozko lekuak sortuko ditu korrosioaren ondorioz, eta kasu larrietan, metalezko marradun edo perforazio arlo handi bat egongo da, eta horrek banatu beharreko gas hutsa kutsatuko du.
Gas handiko eta garbitasun handiko gasaren transmisio eta banaketa-tasa handien konexioa.
Printzipioz, guztiak soldatuak dira eta erabilitako hodiek ez dute erakundearen aldaketarik soldadura aplikatzen denean. Karbono-eduki handiegia duten materialak soldadurako soldadurako aireko iragazkortasunaren mende daude, soldaduraren barnean eta kanpoan gasolioak barneratzea eta transmititutako gasaren garbitasuna, lehortasuna eta garbitasuna suntsitzen ditu, gure ahalegin guztiak galtzea lortuz.
Laburbilduz, garbitasun handiko gasaren eta gasaren transmisiorako kanalizaziorako, garbitasun handiko altzairu herdoilgaitzezko hodiaren tratamendu berezia erabili behar da.
Transmisio eta banaketa kanalizazioetarako teknologia garbiaren kontzeptu orokorra
Gasaren gorputzaren transmisio oso garbia eta garbia hoditeriarekin, gasaren hiru alderdiren eskakizun edo kontrol batzuk daudela esan nahi du.
Gasaren garbitasuna: GGAS garbitasunaren edukia giroan: gasaren garbitasun giroaren edukia normalean gasaren garbitasunaren ehuneko gisa adierazten da, hala nola,% 99,999, garbitasun atmosferaren edukien bolumen-erlazio gisa, PPM, PPB, PPT.
Lehortasuna: gasaren arrastoen hezetasuna, edo hezetasuna deitzen den zenbatekoa, normalean ihintza puntuan adierazten da, esaterako, presio atmosferikoko ihintza -70. C.
Garbitasuna: gasan dauden partikula kutsatzaileen kopurua, μm-ko partikulen tamaina, zenbat partikula / m3 adierazteko, aire konprimituarentzat, normalean, olio-edukia estaltzen duten hondakin solido saihestezinak diren mg / m3-ri dagokionez.
Kutsatzaileen tamainaren sailkapena: Kutsatzaileen partikulak, batez ere, metalezko partikulek sortutako pipelina, higadura, korrosiozko partikulak, baita mikroorganismoak, phages eta hezetasun-tantak dituztenak, etab.), Bere partikularen tamainaren tamainaren arabera banatzen da
a) Partikula handiak - 5μm baino gehiagoko partikularen tamaina
b) partikula - 0,1 μm-5μm arteko diametroa
c) Ultra-mikro partikulak - 0,1 μm baino gutxiagoko partikularen tamaina.
Teknologia honen aplikazioa hobetzeko, partikulen tamaina eta μm unitateen pertzepzioak ulertzeko gai izan dadin, partikulen egoera zehatza ematen da erreferentziarako
Honako hau partikula zehatzen konparazioa da
| Izena / partikularen tamaina (μm) | Izena / partikularen tamaina (μm) | Izena / partikularen tamaina (μm) |
| Birusa 0,003-0,0 | Aerosol 0,03-1 | Mikrodroplet aersolatua 1-12 |
| Erregai nuklearra 0,01-0.1 | Margotu 0,1-6 | Fly Ash 1-200 |
| Karbono beltza 0,01-0,3 | Esne hautsa 0,1-10 | Pestizida 5-10 |
| Erretxina 0,01-1 | Bakterioak 0,3-30 | Zementu hautsa 5-100 |
| Zigarro kea 0,01-1 | Harea hautsa 0,5-5 | Polena 10-15 |
| Silikona 0,02-0.1 | Pestizida 0,5-10 | Giza ilea 50-120 |
| Gatz kristalizatua 0,03-0,5 | Sufre hautsa kontzentratua 1-11 | Itsas harea 100-1200 |
Ordua: 2012-20 ekainaren 14a