Garbitasun handiko gas hodien teknologia purutasun handiko gasa hornitzeko sistemaren zati garrantzitsu bat da, hau da, beharrezkoa den purutasun handiko gasa erabilera puntura emateko eta kalitate kualifikatua mantentzeko funtsezko teknologia da;Garbitasun handiko gas hodien teknologiak sistemaren diseinu zuzena, osagarrien eta osagarrien aukeraketa, eraikuntza eta instalazioa eta probak barne hartzen ditu.Azken urteotan, eskala handiko zirkuitu integratuek irudikatzen dituzten produktu mikroelektronikoen ekoizpenean purutasun handiko gasen purutasun eta ezpurutasun edukiari buruzko eskakizun gero eta zorrotzagoek purutasun handiko gasen kanalizazioen teknologia gero eta kezkatu eta azpimarratu dute.Jarraian, material hautapenetik garbitasun handiko gas hodien ikuspegi laburra daof eraikuntza, baita onarpena eta eguneroko kudeaketa ere.
Ohiko gas motak
Elektronika industrian ohiko gasen sailkapena:
Gas arruntak（Solteko gasa）: hidrogenoa (H2), nitrogenoa (N2), oxigenoa (O2), argon (A2), etab.
Gas berezituakSiH dira4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… etab.
Gas berezi motak, oro har, korrosibo gisa sailka daitezkegasa, toxikoagasa, sukoiagasa, erregaigasa, inertegasa, etab. Erabili ohi diren gas erdieroaleak, oro har, honela sailkatzen dira.
(i) Korrosiboa / toxikoagasa: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… etab.
(ii) Sukotasunagasa: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO... etab.
(iii) erregaitasunagasa: O2, Cl2, N2O, NF3… etab.
(iv) Inerteagasa: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He... etab.
Gas erdieroale asko kaltegarriak dira giza gorputzarentzat.Bereziki, gas horietako batzuk, SiH adibidez4 errekuntza espontaneoa, betiere ihes batek aireko oxigenoarekin bortizki erreakzionatuko badu eta erretzen hasten den bitartean;eta AsH3oso toxikoa, isuri txiki batek gizakiaren bizitza arriskua eragin dezake, arrisku nabari horiengatik da, beraz, sistemaren diseinuaren segurtasun baldintzak bereziki handiak dira.
Gasen aplikazio-esparrua
Industria modernoaren oinarrizko lehengai garrantzitsu gisa, gas produktuak asko erabiltzen dira, eta gas arruntak edo gas berezi ugari erabiltzen dira metalurgian, altzairuan, petrolioan, industria kimikoan, makineria, elektronika, beira, zeramika, eraikuntzako materialak, eraikuntzan. , elikagaien prozesaketa, medikuntza eta medikuntza sektoreak.Gasaren aplikazioak eragin handia du eremu hauetako goi-teknologian bereziki, eta ezinbesteko gasa edo prozesuko gasa da.Hainbat industria-sektore berrien eta zientzia eta teknologia modernoen beharrizan eta sustapenarekin soilik, gasaren industriako produktuak jauzi eta mugaz garatu daitezke barietate, kalitate eta kantitate aldetik.
Gasaren aplikazioa mikroelektronika eta erdieroaleen industrian
Gasaren erabilerak beti izan du zeregin garrantzitsua erdieroaleen prozesuan, batez ere erdieroaleen prozesua oso erabilia izan da hainbat industriatan, ULSI, TFT-LCD tradizionaletatik hasi eta gaur egungo mikro-elektro-mekaniko (MEMS) industriara, guztiak. produktuen fabrikazio prozesu gisa erdieroaleen prozesu deritzona erabiltzen dutenak.Gasaren garbitasunak eragin erabakigarria du osagaien errendimenduan eta produktuen etekinetan, eta gas horniduraren segurtasuna langileen osasunarekin eta zentralaren ustiapenen segurtasunarekin lotuta dago.
Garbitasun handiko hodien garrantzia purutasun handiko gasen garraioan
Altzairu herdoilgaitza urtzeko eta materiala egiteko prozesuan, tona bakoitzeko 200 g inguru gas xurga daitezke.Altzairu herdoilgaitza prozesatu ondoren, bere gainazala hainbat kutsatzailerekin itsaskorra ez ezik, metalezko sarean ere gas kopuru jakin bat xurgatu zuen.Hodietan zehar aire-fluxua dagoenean, metalak gasaren zati hori xurgatzen du berriro aire-fluxuan sartuko da, gas purua kutsatuz.Hodiaren aire-fluxua fluxu etena denean, hodiak gasa xurgatzen du presiopean, eta aire-fluxua igarotzeari uzten dionean, hodiak xurgatutako gasak presio-jaitsiera bat sortzen du ebazteko, eta ebatzitako gasa hodiko gas purua ere sartzen da. ezpurutasun gisa.Aldi berean, adsortzioa eta bereizmena errepikatzen dira, hodiaren barruko gainazaleko metalak hauts kopuru bat ere sortzen du, eta metalezko hauts partikulak hodiaren barruko gas purua ere kutsatzen dute.Hodiaren ezaugarri hau ezinbestekoa da garraiatutako gasaren purutasuna bermatzeko, eta horrek hodiaren barne-gainazaleko leuntasun handia ez ezik, higadura-erresistentzia handia ere eskatzen du.
Errendimendu korrosibo handia duen gasa erabiltzen denean, korrosioarekiko erresistenteak diren altzairu herdoilgaitzezko hodiak erabili behar dira hodietarako.Bestela, hodiak korrosio-orbanak sortuko ditu barneko gainazalean korrosioaren ondorioz, eta kasu larrietan, metalak biltzeko edo are zulatzeko eremu handia egongo da, banatu beharreko gas purua kutsatuko duena.
Garbitasun handiko eta garbitasun handiko gasa garraiatzeko eta banatzeko emari handietako hodiak konektatzea.
Printzipioz, denak soldatuta daude, eta erabiltzen diren hodiek antolakuntza-aldaketarik ez izatea eskatzen dute soldadura aplikatzean.Karbono-eduki handiegia duten materialak soldatzean pieza soldatuen airearen iragazkortasunaren menpe daude, eta horrek gasen elkarrekiko sartzea egiten du hodiaren barruan eta kanpoan eta igortzen den gasaren garbitasuna, lehortasuna eta garbitasuna suntsitzen ditu, ondorioz. gure ahalegin guztiak.
Laburbilduz, purutasun handiko gasa eta gasa garraiatzeko kanalizazio berezietarako, beharrezkoa da purutasun handiko altzairu herdoilgaitzezko hodiaren tratamendu berezi bat erabiltzea, purutasun handiko kanalizazio sistema egiteko (hodiak, osagarriak, balbulak, VMB, VMP barne) egiteko. purutasun handiko gasaren banaketak ezinbesteko misioa betetzen du.
Garraio eta banaketa hodietarako teknologia garbiaren kontzeptu orokorra
Gas-gorputz oso garbi eta garbia hoditeria bidezko transmisioak esan nahi du garraiatu beharreko gasaren hiru alderdiren baldintza edo kontrol batzuk daudela.
Gasaren purutasuna: ezpurutasun-atmosferaren edukia gGas-araztasunean: gasaren ezpurutasun-atmosferaren edukia, normalean gas-araztasunaren ehuneko gisa adierazita, adibidez, % 99,9999, ezpurutasun-atmosferaren edukiaren bolumen-erlazioa ere adierazten da ppm, ppb, ppt.
Lehortasuna: gasaren arrastoaren hezetasun kopurua, edo hezetasun deritzona, normalean ihintz-puntuaren arabera adierazia, hala nola presio atmosferikoko ihintz-puntua -70.C.
Garbitasuna: gasak dituen partikula kutsatzaileen kopurua, µm-ko partikula-tamaina, zenbat partikula/M3 adierazi behar den aire konprimituarentzat, normalean, saihestezinezko hondakin solidoen zenbat mg/m3-ren arabera adierazita, olioaren edukia estaltzen duena. .
Kutsatzaileen tamainaren sailkapena: partikula kutsatzaileak, batez ere kanalizazioen urraketa, higadura, metal partikulek sortutako korrosioa, atmosferako kedar partikulak, baita mikroorganismoak, fagoak eta hezetasuna duten gas-kondentsazio-tantak, etab., bere partikula-tamainaren tamainaren arabera. banatzen da
a) Partikula handiak – 5μm-tik gorako partikulen tamaina
b) Partikula - 0,1μm-5μm arteko materialaren diametroa
c) Ultra-mikropartikulak - 0,1 μm baino txikiagoak diren partikulen tamaina.
Teknologia honen aplikazioa hobetzeko, partikulen tamaina eta μm unitateen pertzepzioa ulertzeko gai izateko, partikulen egoera espezifikoen multzo bat eskaintzen da erreferentzia gisa.
Jarraian, partikula zehatzen konparazioa da
| Izena/Partikulen tamaina (µm) | Izena/Partikulen tamaina (µm) | Izena/ Partikulen tamaina (µm) |
| Birusa 0.003-0.0 | Aerosolak 0,03-1 | Aerosolatutako mikrotanta 1-12 |
| Erregai nuklearra 0,01-0,1 | Pintura 0,1-6 | Hegan errautsak 1-200 |
| Karbono beltza 0,01-0,3 | Esne hautsa 0,1-10 | Pestizida 5-10 |
| Erretxina 0,01-1 | Bakterioak 0,3-30 | Zementu hautsa 5-100 |
| Zigarro-kea 0,01-1 | Harea hautsa 0,5-5 | Polena 10-15 |
| Silikona 0,02-0,1 | Pestizida 0,5-10 | Giza ilea 50-120 |
| Gatz kristalizatua 0,03-0,5 | Sufre-hauts kontzentratua 1-11 | Itsasoko harea 100-1200 |
Argitalpenaren ordua: 2022-06-14